是指受到電子束激發(fā)的惰性氣體和鹵素氣體結(jié)合的混合氣體形成的分子向其基態(tài)躍遷時(shí)發(fā)射所產(chǎn)生的激光，通常都在紫外波段。準(zhǔn)分子激光氣體是激光發(fā)生器的關(guān)鍵氣體，包含鹵素元素，并輔助一定比例的稀有氣體。通常的，準(zhǔn)分子激光氣體是F2, He, Ne, Kr, Xe的混合物。

準(zhǔn)分子激光器以其高光子能量所稱著，準(zhǔn)分子激光器站在了尖端工業(yè)激光解決方案的最前沿。作為當(dāng)今最有效、最可靠的脈沖紫外激光技術(shù)的代表，準(zhǔn)分子激光器有效地推進(jìn)了諸如半導(dǎo)體、AMOLED平板顯示、薄膜、硅底板加工、有機(jī)金屬沉淀、高溫超導(dǎo)、刻蝕、材料研究、汽車制造、生物醫(yī)療、光纖、鉆石打標(biāo)設(shè)備及可替代能源等多種成長(zhǎng)型工業(yè)中的技術(shù)革新。